申请/专利权人：云谷(固安)科技有限公司

申请日：2020-07-28

公开（公告）日：2023-05-23

公开（公告）号：CN112011762B

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.05.23#授权;2020.12.18#实质审查的生效;2020.12.01#公开

摘要：本申请公开了一种蒸镀装置，蒸镀装置包括盒体、若干个蒸镀源和若干个反射板，盒体设有上方为敞口的腔体；若干个蒸镀源位于腔体内，且若干个蒸镀源设置有若干个朝上的喷嘴；若干个反射板搭接于腔体内壁，反射板上表面设有敞口朝上且沿反射板长度方向延伸的反射凹槽，反射凹槽内开设有若干个贯通孔，若干个喷嘴从对应的若干个贯通孔中伸出且突出于反射板表面。本申请蒸镀装置能够阻止蒸镀物质生长于反射板上，进而能够阻止蒸镀物质层叠于喷嘴上。

主权项：1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：盒体，设有上方为敞口的腔体；若干个蒸镀源，位于所述腔体内，且设置有朝上的若干个喷嘴；若干个反射板，搭接于所述腔体内壁，所述反射板上表面设有敞口朝上且沿所述反射板长度方向延伸的反射凹槽，所述反射凹槽内开设有若干个贯通孔，所述贯通孔与所述腔体连通，所述腔体内部分热量通过所述贯通孔直接对堆积于所述反射凹槽中部分蒸镀物质进行加热，使之蒸发，所述若干个喷嘴从对应的所述若干个贯通孔中伸出且突出于所述反射板表面，所述反射板两端的所述贯通孔内侧壁和所述喷嘴外周之间形成有间隙，所述反射板两端的所述贯通孔在所述反射板宽度方向的宽度大于等于25mm，且小于等于29mm；冷却板，至少部分覆盖所述反射板外周，所述冷却板上形成有至少一个冷却槽，所述反射板部分区域、所述反射凹槽、所述贯通孔和所述喷嘴均位于所述冷却槽内；所述反射板包括第一反射区域、第二反射区域和第三反射区域，所述第二反射区域位于所述第一反射区域和所述第三反射区域之间，所述第一反射区域和所述第三反射区域为两层所述反射板层，所述第二反射区域为三层所述反射板层。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 云谷(固安)科技有限公司 一种蒸镀装置

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