申请/专利权人：无锡江松科技股份有限公司

申请日：2023-02-13

公开（公告）日：2023-05-23

公开（公告）号：CN219066796U

主分类号：H01L21/683

分类号：H01L21/683;H01L21/673

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.05.23#授权

摘要：本实用新型涉及硅片吸盘技术领域，具体涉及一种石墨舟硅片吸盘。包括安装盘，第一管槽和第二管槽贯穿设置于安装盘的表面，第二管槽对称设置于第一管槽的两侧，且第二管槽呈弧状；第一安装槽和第一吸盘槽设置于安装盘上，且与第一管槽的两端连通设置；第二安装槽和倾斜的第二吸盘槽设置于安装盘上，且与第二管槽的两端连通设置；快接头分别设置于安装盘上位于第一安装槽和第二安装槽内，吸盘分别设置于安装盘上位于第一吸盘槽和第二吸盘槽内；软管设置于第一管槽和第二管槽内，用于连接快接头和吸盘。将快接头与外界的气源进行连接，气源提供吸力，使得吸盘上的吸孔能够产生吸力，对硅片进行吸取，能够避免对硅片表面的划伤，提高硅片的质量。

主权项：1.一种石墨舟硅片吸盘，其特征在于，包括安装盘1，第一管槽2和第二管槽3贯穿设置于所述安装盘1的表面，所述第二管槽3对称设置于所述第一管槽2的两侧，且所述第二管槽3呈弧状；第一安装槽4和第一吸盘槽5设置于所述安装盘1上，且与所述第一管槽2的两端连通设置；第二安装槽6和倾斜的第二吸盘槽7设置于所述安装盘1上，且与所述第二管槽3的两端连通设置；快接头8分别设置于所述安装盘1上位于所述第一安装槽4和所述第二安装槽6内，吸盘9分别设置于所述安装盘1上位于所述第一吸盘槽5和所述第二吸盘槽7内；软管设置于所述第一管槽2和所述第二管槽3内，用于连接快接头8和吸盘9；所述吸盘9的四角上连接设置有弹簧14，所述吸盘9通过弹簧14与所述第一吸盘槽5和所述第二吸盘槽7进行连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡江松科技股份有限公司 一种石墨舟硅片吸盘

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