申请/专利权人：镭神技术(西安)有限公司

申请日：2023-03-06

公开（公告）日：2023-05-26

公开（公告）号：CN116165413A

主分类号：G01R1/073

分类号：G01R1/073;G01R1/067;G01R1/04;G01R27/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.08.04#授权;2023.06.13#实质审查的生效;2023.05.26#公开

摘要：本申请涉及用于半导体制冷片检测设备的四线制探针测试装置及方法，包括两个三维滑动探测机构；三维滑动探测机构包括交叉滚子滑台组及探针结构，探针结构固定于交叉滚子滑台组上；探针结构设有两个探针，探针用于弹性接触待测试的半导体制冷片的测试点位；交叉滚子滑台组具有三个调节方向，用于调整探针的位置，以使探针接触测试点位。一方面通过两个探针接触半导体制冷片的同一个测试点位，有利于避免准确探针及测试线的电阻干扰，从而提升对于半导体制冷片的电阻测量精度；另一方面通过弹性接触测试点位，有利于对两个测试点位实现弹性接触，保护了待测试的半导体制冷片，避免由于测试而带来损坏，降低了不良风险。

主权项：1.一种用于半导体制冷片检测设备的四线制探针测试装置，其特征在于，包括两个三维滑动探测机构400；所述三维滑动探测机构400包括交叉滚子滑台组100及探针结构300，所述探针结构300固定于所述交叉滚子滑台组100上；所述探针结构300设有两个探针，所述探针用于弹性接触待测试的半导体制冷片的测试点位；所述交叉滚子滑台组100具有三个调节方向，用于调整所述探针的位置，以使所述探针接触所述测试点位。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 镭神技术(西安)有限公司 用于半导体制冷片检测设备的四线制探针测试装置及方法

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