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【发明公布】一种电子显微镜及其工作方法_合肥晶合集成电路股份有限公司_202310443114.2 

申请/专利权人:合肥晶合集成电路股份有限公司

申请日:2023-04-24

公开(公告)日:2023-05-26

公开(公告)号:CN116168996A

主分类号:H01J37/26

分类号:H01J37/26;G01N23/225;G01R31/28

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.06.27#授权;2023.06.13#实质审查的生效;2023.05.26#公开

摘要:本发明公开了一种电子显微镜及其工作方法,所述工作方法包括以下步骤:在待测芯片上设置目标区域和聚针区域,其中,目标区域和聚针区域邻近;获取针体的针尖部与聚针区域的距离,并作为下针距离;在目标区域上设置下针区域,将针体移动到下针区域上,并按照下针距离移动针体,使针尖部接触下针区域的表面;多次移动针座的位置,且每次移动针座后,获取针体的多个点针图像;对比多个点针图像,获取针体的针体摆动幅度;以及设置摆动幅度阈值,当针体摆动幅度小于或等于摆动幅度阈值,通过针体对目标区域进行电性量测。本发明提供了一种电子显微镜及其工作方法,能不损伤芯片并提升芯片电性量测的准确性。

主权项:1.一种电子显微镜,其特征在于,至少包括:检测台,所述检测台上放置有待测芯片,且所述检测台上安装有探测针;聚针模块,连接于所述探测针,所述聚针模块根据所述探测针的针尖部和所述待测芯片的距离,获取下针距离;控制模块,连接于所述探测针,所述控制模块允许所述探测针的针座在平行于所述待测芯片的方向和垂直于所述待测芯片的方向移动,且当所述待测芯片进行电性量测时,所述针尖部与所述待测芯片的表面接触;电子光学模块,电性连接于所述控制模块,在所述控制模块多次移动所述针座的位置时,每次移动所述针座后,所述电子光学模块获取所述探测针的多个点针图像;以及电性量测模块,电性连接于所述电子光学模块,所述电性量测模块对比多个所述点针图像,并获取所述探测针的针体摆动幅度,其中,所述电性量测模块中存储有摆动幅度阈值,当所述针体摆动幅度小于或等于所述摆动幅度阈值时,所述电性量测模块通过所述探测针对所述待测芯片进行电性量测。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 合肥晶合集成电路股份有限公司 一种电子显微镜及其工作方法

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