申请/专利权人：廊坊沃尔德超硬刀具有限公司

申请日：2022-12-26

公开（公告）日：2023-05-26

公开（公告）号：CN116162916A

主分类号：C23C16/27

分类号：C23C16/27;C23C16/46

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.06.13#实质审查的生效;2023.05.26#公开

摘要：本申请涉及一种CVD反应装置，属于化学气相沉积的技术领域，其包括架体和设置在所述架体上的若干热管，所述热管沿所述架体的长度方向设置，所述架体两端均设置为电极，所述热管两端均连通有进气管，且所述热管下侧开设有多个通孔，且所述热管下方设有用于沉积金刚石层的基体，且所述基体远离所述热管的一侧设有用于控制所述基体温度的控制机构和用于控制所述基体与所述热管之间距离的升降组件。本申请具有提高混合气体的解离率，进而提高沉积效率的效果。

主权项：1.一种CVD反应装置，其特征在于：包括架体（1）和设置在所述架体（1）上的若干热管（13），所述热管（13）沿所述架体（1）的长度方向设置，所述架体（1）两端均设置为电极，所述热管（13）两端均连通有进气管（14），且所述热管（13）下侧开设有多个通孔（131），且所述热管（13）下方设有用于沉积金刚石层的基体，且所述基体远离所述热管（13）的一侧设有用于控制所述基体温度的控制机构（4）和用于控制所述基体与所述热管（13）之间距离的升降组件（3）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 廊坊沃尔德超硬刀具有限公司 一种CVD反应装置

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