申请/专利权人:SKC索密思株式会社
申请日:2022-11-24
公开(公告)日:2023-05-26
公开(公告)号:CN116160353A
主分类号:B24B37/20
分类号:B24B37/20;B24B37/22;B24B37/24;B24B37/04;B24B37/10;B24B57/02
优先权:["20211125 KR 10-2021-0164601"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2023.07.07#实质审查的生效;2023.05.26#公开
摘要:提供抛光垫和应用该抛光垫的半导体器件的制造方法,抛光垫是具备能够最大化漏水防止效果的结构特征的抛光垫,包括:抛光层,包括第一表面和第二表面,包括从第一表面贯通至第二表面的第一通孔;窗口,配置于第一通孔内;以及支撑层,配置于抛光层的第二表面侧,包括第三表面和第四表面,包括从第三表面贯通至第四表面同时与第一通孔连接的第二通孔,第二通孔小于第一通孔,窗口的最下端面由第三表面支撑,在窗口的最下端面和第三表面之间包括第一粘合层,在第二表面和第三表面之间以及窗口的最下端面和第三表面之间包括第二粘合层,在第二粘合层的一表面上包括屏障层,支撑层在与窗口的最下端面对应的区域包括压缩部。
主权项:1.一种抛光垫,其中,包括:抛光层,包括作为抛光面的第一表面和作为所述第一表面的相反面的第二表面,包括从所述第一表面贯通至所述第二表面的第一通孔;窗口,配置于所述第一通孔内;以及支撑层,配置于所述抛光层的所述第二表面侧,包括所述抛光层侧的第三表面和作为所述第三表面的相反面的第四表面,包括从所述第三表面贯通至所述第四表面同时与所述第一通孔连接的第二通孔,所述第二通孔小于所述第一通孔,所述窗口的最下端面由所述第三表面支撑,在所述窗口的最下端面和所述第三表面之间包括第一粘合层,在所述第二表面和所述第三表面之间以及所述窗口的最下端面和所述第三表面之间包括第二粘合层,在所述第二粘合层的一表面上包括屏障层,所述支撑层在与所述窗口的最下端面对应的区域包括压缩部。
全文数据:
权利要求:
百度查询: SKC索密思株式会社 抛光垫和利用该抛光垫的半导体器件的制造方法
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