申请/专利权人：佳能特机株式会社

申请日：2022-11-22

公开（公告）日：2023-05-26

公开（公告）号：CN116162905A

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24;C23C14/50

优先权：["20211125 JP 2021-191017"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.06.13#实质审查的生效;2023.05.26#公开

摘要：本发明提供一种能够减轻在剥离基板时所需的力的基板载体、基板剥离装置、成膜装置以及基板剥离方法。通过具备具有吸附基板的吸附面的吸附垫211和使吸附垫211以所述吸附面的法线为中心轴线正反旋转的旋转机构中的一部分结构或全部结构，能够减轻在从吸附垫211剥离基板时所需的力。

主权项：1.一种基板载体，其特征在于，所述基板载体具备多个吸附垫，所述多个吸附垫分别具有吸附基板的吸附面，所述多个吸附垫的至少一部分以所述吸附面的法线为中心轴线转动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 佳能特机株式会社 基板载体、基板剥离装置、成膜装置以及基板剥离方法

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