申请/专利权人：意法半导体股份有限公司

申请日：2022-11-24

公开（公告）日：2023-05-26

公开（公告）号：CN116165397A

主分类号：G01P15/125

分类号：G01P15/125

优先权：["20211125 IT 102021000029810","20221115 US 18/055,804"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.06.13#实质审查的生效;2023.05.26#公开

摘要：本公开的各实施例总体上涉及具有改进的应力不敏感性的Z轴微机电传感器。一种微机电传感器设备具有检测结构，该检测结构包括：具有顶面的基底；悬置在基底的顶面上方并且弹性耦合到转子锚以便根据待检测量相对于基底执行惯性运动的惯性质量体；以及在相应定子锚处整体耦合到基底并且电容耦合到惯性质量体，以便响应于待检测量而生成指示待检测量的差分电容变化的定子电极。特别地，作为惯性运动，惯性质量体执行沿着正交于基底的顶面的竖直轴线的平移运动；并且定子电极以悬置方式布置在基底的顶面上方。

主权项：1.一种设备，包括：基底，具有第一表面；锚；惯性质量体，悬置在所述基底的所述第一表面上方并且弹性耦合到所述锚；以及第一定子电极，耦合到所述基底，所述第一定子电极具有第二表面，所述第二表面与所述基底的所述第一表面隔开第一距离，所述第二表面背对所述基底；第二定子电极，耦合到所述基底并且通过所述锚与所述第一定子电极隔开，所述第二定子电极具有第三表面，所述第三表面与所述基底的所述第一表面隔开第二距离，所述第二距离小于所述第一距离，所述第三表面背对所述基底。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 意法半导体股份有限公司 具有改进的应力不敏感性的Z轴微机电传感器

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