申请/专利权人：深圳市原速光电科技有限公司

申请日：2023-02-17

公开（公告）日：2023-05-26

公开（公告）号：CN116169001A

主分类号：H01J37/32

分类号：H01J37/32;C23C16/507

优先权：["20230118 CN 2023100950713"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.06.13#实质审查的生效;2023.05.26#公开

摘要：本发明公开了电感耦合等离子体装置以及镀膜设备。其中，该电感耦合等离子体装置，包括：反应室；介质窗，密封所述反应室；线圈组，与所述反应室隔着所述介质窗对置，所述线圈组具有多个平面状的矩形螺旋线圈，各所述矩形螺旋线圈之间并联；射频电源，所述射频电源与各所述矩形螺旋线圈电连接。根据本发明的电感耦合等离子体装置，能够提供更大面积的等离子体源。

主权项：1.电感耦合等离子体装置，其特征在于，包括：反应室；介质窗，密封所述反应室；线圈组，与所述反应室隔着所述介质窗对置，所述线圈组具有多个平面状的矩形螺旋线圈，各所述矩形螺旋线圈之间并联；射频电源，所述射频电源与各所述矩形螺旋线圈电连接。

全文数据：

权利要求：

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