申请/专利权人：雅马哈智能机器控股株式会社

申请日：2021-05-10

公开（公告）日：2023-05-26

公开（公告）号：CN116171485A

主分类号：H01L21/60

分类号：H01L21/60

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.06.13#实质审查的生效;2023.05.26#公开

摘要：一种不良检测装置100，检测半导体装置10的不良，所述不良检测装置100包括：驻波产生器20，将驻波30施加至半导体装置10以对引线13赋予吸引力；摄像机41、42；以及控制部50，调整驻波产生器20的动作并且进行半导体装置10的不良检测，控制部50通过摄像机41、42来拍摄对引线13赋予了吸引力的第一状态的半导体装置10的第一图像、及对引线13赋予的吸引力比第一状态小的第二状态的半导体装置10的第二图像，对第一图像与第二图像进行比较而进行半导体装置10的不良检测。

主权项：1.一种不良检测装置，对将接合物接合于被接合物的检查对象物的不良进行检测，所述不良检测装置的特征在于包括：驻波产生器，产生驻波，并将所产生的所述驻波施加至所述检查对象物，以对所述接合物赋予吸引力；拍摄装置，拍摄所述检查对象物；以及控制部，调整所述驻波产生器的动作，并且进行所述检查对象物的不良检测，所述控制部通过所述拍摄装置来拍摄第一图像及第二图像，所述第一图像是对所述接合物赋予了所述吸引力的第一状态的所述检查对象物的图像，所述第二图像是对所述接合物赋予的所述吸引力比所述第一状态小的第二状态的所述检查对象物的图像，对所述第一状态的所述第一图像与所述第二状态的所述第二图像进行比较而进行所述检查对象物的不良检测。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 雅马哈智能机器控股株式会社 不良检测装置及不良检测方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD