买专利,只认龙图腾
首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

【发明公布】真空处理系统_费勉仪器科技(上海)有限公司_202211318184.7 

申请/专利权人:费勉仪器科技(上海)有限公司

申请日:2022-10-26

公开(公告)日:2023-05-26

公开(公告)号:CN116161389A

主分类号:B65G35/00

分类号:B65G35/00;B25J11/00;B25J18/00

优先权:["20211124 CN 202111405211X"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2023.06.13#实质审查的生效;2023.05.26#公开

摘要:本公开提供了一种真空处理系统,包括:真空中转腔;至少一个真空处理腔,与所述真空中转腔连通;传样臂机构,设置在所述真空中转腔内;真空驱动机构,与所述传样臂机构连接,用于驱动所述传样臂机构,所述真空驱动机构包括:真空腔道,与所述真空中转腔连通;至少一个主轴,设置在所述真空腔道内并且能够绕轴向旋转;以及至少一个磁传动装置,与所述至少一个主轴连接并且能够旋转以带动所述至少一个主轴旋转。

主权项:1.一种真空处理系统,其特征在于,包括:真空中转腔;至少一个真空处理腔,与所述真空中转腔连通;传样臂机构,设置在所述真空中转腔内;真空驱动机构,与所述传样臂机构连接,用于驱动所述传样臂机构,所述真空驱动机构包括:真空腔道,与所述真空中转腔连通;至少一个主轴,设置在所述真空腔道内并且能够绕轴向旋转;以及至少一个磁传动装置,与所述至少一个主轴连接并且能够旋转以带动所述至少一个主轴旋转。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 费勉仪器科技(上海)有限公司 真空处理系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。