申请/专利权人：苏州桔云科技有限公司

申请日：2023-01-17

公开（公告）日：2023-05-26

公开（公告）号：CN116169078A

主分类号：H01L21/68

分类号：H01L21/68;H01L21/677

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.06.13#实质审查的生效;2023.05.26#公开

摘要：本发明涉及一种切边晶圆传输装置的对中定位机构及切边晶圆传输装置，包括两组挡杆组件，挡杆组件包括两个挡杆且两个挡杆之间的间距大于切边晶圆的切边的边长；两组挡杆组件的四个挡杆位于一矩形的四个拐角点；驱动组件，其包括两个驱动端，以分别与两组挡杆组件连接；其中，驱动组件用于驱动两组挡杆组件进行相向同速直线运动，当挡杆到达定位位置时，驱动组件停止驱动，且至少三个挡杆抵在切边晶圆的圆周边缘上，以对切边晶圆进行对中定位。通过设置两组挡杆组件及限定挡杆组件的两个挡杆之间的间距大于切边晶圆的切边的边长，通过两组挡杆组件的相向同速直线运动即可实现对中定位，整体结构简单且操作简便。

主权项：1.一种切边晶圆传输装置的对中定位机构，其特征在于，包括：两组挡杆组件11，所述挡杆组件11包括两个挡杆111且所述两个挡杆111之间的间距大于切边晶圆200的切边的边长；所述两组挡杆组件11的四个所述挡杆111位于一矩形的四个拐角点；驱动组件12，其包括两个驱动端，以分别与两组所述挡杆组件11连接；其中，所述驱动组件12用于驱动两组所述挡杆组件11垂直传输装置的传输方向地进行相向同速直线运动，当所述挡杆111到达定位位置时，所述驱动组件12停止驱动，且至少三个所述挡杆111抵在所述切边晶圆200的圆周边缘上，以对所述切边晶圆200进行对中定位。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州桔云科技有限公司 切边晶圆传输装置的对中定位机构及切边晶圆传输装置

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