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【发明公布】干燥方法_不二商事株式会社_202180061357.9 

申请/专利权人:不二商事株式会社

申请日:2021-08-20

公开(公告)日:2023-05-26

公开(公告)号:CN116171367A

主分类号:F26B5/04

分类号:F26B5/04

优先权:["20200903 JP 2020-147922"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2023.08.04#实质审查的生效;2023.05.26#公开

摘要:干燥方法包括:初始减压低温化工序S2,通过使减压泵12a工作而使腔室11内减压低温化;以及干燥循环工序S3,在初始减压低温化工序S2之后,为了使干燥对象物W干燥而反复进行多次。干燥循环工序S3具备:微波加热工序S32,向腔室11内照射微波,对腔室11内的干燥对象物W进行加热;以及减压低温化工序S33,在微波加热工序S32之后,在停止了微波的照射的状态下,通过使减压泵12a工作而再次使腔室11内减压低温化。

主权项:1.一种干燥方法,使配置在腔室11内的干燥对象物W干燥,所述干燥方法具备:初始减压低温化工序S2,通过使减压泵12a工作而使所述腔室内减压低温化;以及干燥循环工序S3,在所述初始减压低温化工序之后,为了使所述干燥对象物干燥而反复进行多次,所述干燥循环工序具备:微波加热工序S32,向所述腔室内照射微波,来对所述腔室内的所述干燥对象物进行加热;以及减压低温化工序S33,在所述微波加热工序之后,在停止了所述微波的照射的状态下,通过使所述减压泵工作而再次使所述腔室内减压低温化。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 不二商事株式会社 干燥方法

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