申请/专利权人：深圳市纳设智能装备有限公司

申请日：2022-12-28

公开（公告）日：2023-05-26

公开（公告）号：CN116159809A

主分类号：B08B5/02

分类号：B08B5/02;B08B5/04;H01L21/677

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.06.13#实质审查的生效;2023.05.26#公开

摘要：本申请提供了一种晶圆传输方法，在一个晶圆传输周期中加入传输室除尘步骤，且除尘步骤是在第一密封阀与第二密封阀均关闭的期间进行的，可以是在晶圆在反应室中反应生长的期间，也可以是在整个传输开始之前，也可以二者兼有，传输室除尘时，向传输室通入惰性气流，将空间内的灰尘杂质吹起来成为悬浮状态，然后再将空间内的气体与杂质的混合物负压抽走，极大程度地降低传输腔内灰尘和杂质的浓度，避免传输腔室内灰尘和杂质的累积，使传输室内始终处于干净的状态。解决了现有技术中传输室中积累的灰尘和杂质影响晶圆表面质量的问题。

主权项：1.一种晶圆传输方法，其特征在于，包括以下步骤：S1开启传输室与装载室之间的第一密封阀，将所述装载室中的晶圆运至所述传输室中，关闭所述第一密封阀；S2向所述传输室中回填气体以形成惰性环境；S3开启所述传输室与反应室之间的第二密封阀，将所述传输室中的晶圆运至所述反应室中，关闭所述第二密封阀；S4开启所述第二密封阀，将所述反应室中完成生长的所述晶圆运至所述传输室中，关闭所述第二密封阀；S5开启所述第一密封阀，将所述传输室中完成冷却的所述晶圆运至所述装载室中，关闭所述第一密封阀；S6打开所述装载室，取走所述晶圆并放入新的所述晶圆，关闭所述装载室；其中，S3与S4之间和或S1之前设有S0向所述传输室中通入惰性气流以吹起杂质，将所述传输室中的气体和杂质抽走。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市纳设智能装备有限公司 晶圆传输方法

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