申请/专利权人:铠侠股份有限公司
申请日:2022-07-29
公开(公告)日:2023-05-26
公开(公告)号:CN116162919A
主分类号:C23C16/44
分类号:C23C16/44;C23C16/507;H01J37/32
优先权:["20211125 JP 2021-191125"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2023.06.13#实质审查的生效;2023.05.26#公开
摘要:根据一个实施方式的排气管装置包括:介电管;射频电极;和等离子体产生电路。排气管装置用作配置在处理室与将处理室内的气体排出的真空泵之间的排气管的一部分。射频电极包括配置在介电管的外周侧的薄金属板、配置在薄金属板的外周侧的缓冲构件和配置在缓冲构件的外周侧的导电性中空结构体,并且射频电压施加到射频电极。等离子体产生电路在介电管内产生等离子体。
主权项:1.一种排气管装置,用作配置在处理室与将所述处理室内的气体排出的真空泵之间的排气管的一部分,所述排气管装置包括:介电管;射频电极,所述射频电极包括配置在所述介电管的外周侧的薄金属板、配置在所述薄金属板的外周侧的缓冲构件和配置在所述缓冲构件的外周侧并且被施加射频电压的导电性中空结构体;和在所述介电管内产生等离子体的等离子体产生电路。
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