申请/专利权人:信越化学工业株式会社
申请日:2022-11-23
公开(公告)日:2023-05-26
公开(公告)号:CN116165845A
主分类号:G03F7/039
分类号:G03F7/039;G03F7/00;G03F7/004
优先权:["20211124 JP 2021-190187"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2023.06.13#实质审查的生效;2023.05.26#公开
摘要:本发明涉及正型抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的课题是提供酸的扩散受到控制,具有优于已知的正型抗蚀剂材料的分辨率,边缘粗糙度、尺寸偏差小,且曝光后的图案形状良好的正型抗蚀剂材料及图案形成方法。该课题的解决手段为一种正型抗蚀剂材料,含有末端被连接于硫醚基的含碘原子的酸的铵盐封端而成的基础聚合物。
主权项:1.一种正型抗蚀剂材料,含有:末端被连接于硫醚基的含碘原子的酸的铵盐封端而成的基础聚合物。
全文数据:
权利要求:
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