申请/专利权人:中国科学院微电子研究所
申请日:2020-12-31
公开(公告)日:2023-05-26
公开(公告)号:CN116161612A
主分类号:B81B7/04
分类号:B81B7/04;B81C1/00;B82Y20/00;B82Y40/00
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2023.06.13#实质审查的生效;2023.05.26#公开
摘要:本发明提供了一种结构色功能纳米结构及其制备方法,其中,该结构包括:介质衬底;位于介质衬底上的超表面结构,用于选择性的反射入射光;其中,超表面结构包括:金属膜,位于介质衬底上;介质层,位于金属膜上;金属纳米颗粒阵列,位于介质层上。
主权项:1.一种结构色功能纳米结构,包括:介质衬底;位于所述介质衬底上的超表面结构,用于选择性的反射入射光;其中,所述超表面结构包括:金属膜,位于所述介质衬底上;超薄介质层,位于所述金属膜上,所述超薄介质层由金属层在空气中自氧化形成于所述金属膜表面,所述超薄介质层的厚度为大于等于2nm小于5nm;金属纳米颗粒阵列,位于所述超薄介质层上。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 中国科学院微电子研究所 结构色功能纳米结构及其制备方法
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