申请/专利权人:长鑫存储技术有限公司
申请日:2023-04-21
公开(公告)日:2023-05-26
公开(公告)号:CN116160364A
主分类号:B24B57/02
分类号:B24B57/02;B24B37/34
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2023.09.22#授权;2023.06.13#实质审查的生效;2023.05.26#公开
摘要:本公开涉及一种研磨液供给装置,应用于化学机械研磨设备,研磨液供给装置包括控制器、运动机构、研磨液供给臂及喷嘴,运动机构安装于化学机械研磨设备上;研磨液供给臂的一端活动安装于运动机构;喷嘴安装于研磨液供给臂的另一端,位于化学机械研磨设备的研磨垫的上方,喷嘴包括连通管部和连通连通管部的扇形出口部,其中,扇形出口部的开度可调节,研磨液经研磨液供给臂及喷嘴分散至研磨垫上;控制器与运动机构、研磨液供给臂及喷嘴均相连,用于控制运动机构、研磨液供给臂及喷嘴中至少一个动作,来改变分散至研磨垫上研磨液的轨迹,避免产生研磨液在研磨垫上堆积及分散不匀的技术问题。
主权项:1.一种研磨液供给装置,其特征在于,应用于化学机械研磨设备,所述研磨液供给装置包括:运动机构,安装于所述化学机械研磨设备上;研磨液供给臂,所述研磨液供给臂的一端活动安装于所述运动机构;喷嘴,安装于所述研磨液供给臂的另一端,位于所述化学机械研磨设备的研磨垫的上方,所述喷嘴包括连通管部和连通所述连通管部的扇形出口部,其中,所述扇形出口部的开度可调节,所述研磨液经所述研磨液供给臂及所述喷嘴分散至所述研磨垫上;控制器,与所述运动机构、所述研磨液供给臂及所述喷嘴均相连,用于控制所述运动机构、所述研磨液供给臂及所述喷嘴中至少一个动作,来改变分散至所述研磨垫上研磨液的轨迹。
全文数据:
权利要求:
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