申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司

申请日：2023-04-21

公开（公告）日：2023-05-26

公开（公告）号：CN116160364A

主分类号：B24B57/02

分类号：B24B57/02;B24B37/34

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.09.22#授权;2023.06.13#实质审查的生效;2023.05.26#公开

摘要：本公开涉及一种研磨液供给装置，应用于化学机械研磨设备，研磨液供给装置包括控制器、运动机构、研磨液供给臂及喷嘴，运动机构安装于化学机械研磨设备上；研磨液供给臂的一端活动安装于运动机构；喷嘴安装于研磨液供给臂的另一端，位于化学机械研磨设备的研磨垫的上方，喷嘴包括连通管部和连通连通管部的扇形出口部，其中，扇形出口部的开度可调节，研磨液经研磨液供给臂及喷嘴分散至研磨垫上；控制器与运动机构、研磨液供给臂及喷嘴均相连，用于控制运动机构、研磨液供给臂及喷嘴中至少一个动作，来改变分散至研磨垫上研磨液的轨迹，避免产生研磨液在研磨垫上堆积及分散不匀的技术问题。

主权项：1.一种研磨液供给装置，其特征在于，应用于化学机械研磨设备，所述研磨液供给装置包括：运动机构，安装于所述化学机械研磨设备上；研磨液供给臂，所述研磨液供给臂的一端活动安装于所述运动机构；喷嘴，安装于所述研磨液供给臂的另一端，位于所述化学机械研磨设备的研磨垫的上方，所述喷嘴包括连通管部和连通所述连通管部的扇形出口部，其中，所述扇形出口部的开度可调节，所述研磨液经所述研磨液供给臂及所述喷嘴分散至所述研磨垫上；控制器，与所述运动机构、所述研磨液供给臂及所述喷嘴均相连，用于控制所述运动机构、所述研磨液供给臂及所述喷嘴中至少一个动作，来改变分散至所述研磨垫上研磨液的轨迹。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长鑫存储技术有限公司 研磨液供给装置

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