申请/专利权人：华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司;华能大理风力发电有限公司洱源分公司

申请日：2023-04-26

公开（公告）日：2023-05-26

公开（公告）号：CN116169208A

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;H01L31/042;B23K26/60

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.08.04#授权;2023.06.13#实质审查的生效;2023.05.26#公开

摘要：本发明提供了一种TOPCon太阳能电池切片及其制备方法，包括以下步骤：（1）将硅片衬底进行制绒清洗，在所述硅片衬底上制备pn结并背抛；（2）在所述硅片衬底的背面制备第一薄膜，所述第一薄膜采用本征非晶硅或氧化物；（3）在所述第一薄膜的表面制备第二薄膜，所述第二薄膜采用掺杂非晶硅或掺杂多晶硅，得到电池片半成品；（4）将所述电池片半成品背面位于激光切片位置处2d1宽度范围内的所述第二薄膜去除，形成2d1宽度的第一背面窗口；（5）沿着激光切片位置对所述电池片半成品进行激光切割，得到电池切片半成品；（6）在所述电池切片半成品正面和背面分别制备金属电极，得到电池切片。所述制备方法能有效提高电池切片的光电转换效率。

主权项：1.一种TOPCon太阳能电池切片的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）将硅片衬底进行制绒清洗，然后在所述硅片衬底上制备pn结并背抛；（2）在所述硅片衬底的背面制备第一薄膜，所述第一薄膜采用本征非晶硅或氧化物；（3）在所述第一薄膜的表面制备第二薄膜，所述第二薄膜采用掺杂非晶硅或掺杂多晶硅，得到电池片半成品；（4）将所述电池片半成品背面的位于激光切片位置处2d1宽度范围内的所述第二薄膜去除，形成2d1宽度的第一背面窗口；（5）沿着激光切片位置对所述电池片半成品进行激光切割，得到电池切片半成品；（6）在所述电池切片半成品的正面和背面分别制备金属电极，得到电池切片。

全文数据：

权利要求：

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