申请/专利权人：鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司

申请日：2019-12-25

公开（公告）日：2023-05-26

公开（公告）号：CN111380926B

主分类号：G01N27/12

分类号：G01N27/12

优先权：["20181228 US 62/785708"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.05.26#授权;2020.07.31#实质审查的生效;2020.07.07#公开

摘要：一种气体感测器，其包括：基板；底栅极，其位于在基板的一表面；绝缘层，其位于在所述基板具有所述底栅极的表面上且完全覆盖所述底栅极；半导体层，其位于所述绝缘层远离所述基板的一侧；相互间隔的源极和漏极，均与半导体层连接；钝化层，其覆盖所述半导体层；以及顶栅极，其位于所述钝化层远离所述基板的表面且与所述源极和漏极均间隔设置，所述顶栅极的材质为导电的气体敏感材料。本发明还提供气体感测器的制备方法。所述气体感测器利用吸附气体改变顶栅极的电势，从而影响所述漏极的电流，进而可以根据漏极的电流变化侦测气体，所述气体感测器具有较快的感测速度且感测更加精准。

主权项：1.一种气体感测器，其特征在于，包括：基板；底栅极，位于基板的一表面；绝缘层，位于所述基板具有所述底栅极的表面上且完全覆盖所述底栅极；半导体层，位于所述绝缘层远离所述基板的一侧；相互间隔的源极和漏极，均位于所述半导体层远离所述基板的一侧与所述半导体层连接；钝化层，位于所述半导体层远离所述基板的一侧，覆盖所述半导体层，所述钝化层为电性绝缘材料；以及顶栅极，位于所述钝化层远离所述基板的表面且与所述源极和漏极均间隔设置，所述顶栅极的材质为导电的气体敏感材料，所述顶栅极用于吸附气体从而改变电势。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 气体感测器及其制备方法

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