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【发明授权】一种光频梳色散干涉的平面位姿测量装置及测量方法_天津大学_202210655088.5 

申请/专利权人:天津大学

申请日:2022-06-10

公开(公告)日:2023-05-26

公开(公告)号:CN115031630B

主分类号:G01B11/00

分类号:G01B11/00;G01B11/02;G01B11/14;G01B11/26

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.05.26#授权;2022.09.30#实质审查的生效;2022.09.09#公开

摘要:本发明公开一种光频梳色散干涉的平面位姿测量装置,包括:光频梳、测距模块和数据采集模块;所述测距模块包括分束镜组、转向镜、光开关、角锥镜组、反射镜组和光栅光谱仪;所述测距模块经第一分束镜、转向镜、第二分束镜和第三分束镜组成的固定机构构建三路平行的测量光束和一路参考光束;所述数据采集模块用于根据收到的干涉信号解算平面位姿信息,其中,所述平面位姿信息包括距离、俯仰角和偏摆角信息。所述测量方法包括分别打开和关闭参考臂光开关,由光栅光谱仪记录下干涉信号,将包含和不包含参考光参与干涉的干涉信号进行分析从而获得移动距离、俯仰角和偏摆角信息。

主权项:1.一种光频梳色散干涉的平面位姿测量装置,包括:光频梳、测距模块和数据采集模块;其中,所述光频梳1,用于产生重频脉冲激光;所述测距模块,用于产生包含不包含参考光束参与干涉的多路干涉信号;包括分束镜组,转向镜3,光开关12、角锥镜组、反射镜组和光栅光谱仪;分束镜组包括第一分束镜2、第二分束镜6、第三分束镜9;角锥镜组包括第一角锥镜4、第二角锥镜7、第三角锥镜10;反射镜组包括第一反射镜5、第二反射镜8、第三反射镜11、参考反射镜13;所述角锥镜组构建靶镜作为移动机构安装在被测目标上;所述数据采集模块包括计算机17,用于根据收到的干涉信号解算平面位姿信息,其中,所述平面位姿信息包括靶镜的移动距离信息、俯仰角和偏摆角信息;其中,光频梳的脉冲激光经第一分束镜2、转向镜3、第二分束镜6和第三分束镜9组成的固定机构构建三路平行的测量光束和一路参考光束,分别为经由第一分束镜2反射和转向镜3转向的光束为第一测量光束,第一测量光束射向由第一角锥镜4和第一反射镜5组成的第一测量臂;经由第一分束镜2透射,再经第二分束镜6透射的光束为第二测量光束,第二测量光束射向由第二角锥镜7和第二反射镜8组成的第二测量臂;经由第一分束镜2透射,再经第二分束镜6反射,之后经第三分束镜9反射的光束为第三测量光束,第三测量光束射向由第三角锥镜10和第三反射镜11组成的第三测量臂;第三分束镜9透射的参考光束经光开关12射向参考反射镜13组成参考臂,设置在参考臂中的光开关12用于转换系统工作模式,决定参考光束是否参与干涉;三路测量光束经角锥镜和反射镜后原路返回,和一路参考光束在第一分束镜2处重合并发生干涉,传输至光栅光谱仪,所述光栅光谱仪将干涉信号传输至计算机17。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 天津大学 一种光频梳色散干涉的平面位姿测量装置及测量方法

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