申请/专利权人:湖北江城芯片中试服务有限公司
申请日:2023-01-04
公开(公告)日:2023-05-26
公开(公告)号:CN115911072B
主分类号:H01L27/146
分类号:H01L27/146
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2023.05.26#授权;2023.04.21#实质审查的生效;2023.04.04#公开
摘要:本公开实施例公开了一种半导体器件及其制作方法,所述半导体器件包括:半导体层;第一二极管,位于所述半导体层中;所述第一二极管包括第一掺杂区和第二掺杂区,所述第二掺杂区位于所述第一掺杂区之上;隔离结构,位于所述半导体层中,位于所述第一二极管的一侧;浮置区,位于所述半导体层中,且位于所述隔离结构上;所述浮置区的掺杂类型与所述第一掺杂区相同;缓冲区,位于所述浮置区与所述隔离结构之间,所述缓冲区的掺杂类型与所述浮置区的掺杂类型相反;其中,所述浮置区与所述第一掺杂区电隔离。
主权项:1.一种半导体器件,其特征在于,包括:半导体层;第一二极管,位于所述半导体层中;所述第一二极管包括第一掺杂区和第二掺杂区,所述第二掺杂区位于所述第一掺杂区之上;隔离结构,位于所述半导体层中,位于所述第一二极管的一侧;浮置区,位于所述半导体层中,且位于所述隔离结构上;所述浮置区的掺杂类型与所述第一掺杂区相同;缓冲区,位于所述浮置区与所述隔离结构之间,所述缓冲区的掺杂类型与所述浮置区的掺杂类型相反;其中,所述浮置区与所述第一掺杂区电隔离;所述浮置区的底表面高于所述第一掺杂区的顶表面。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 湖北江城芯片中试服务有限公司 半导体器件及其制作方法以及CMOS图像传感器
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