申请/专利权人：阿尔卡姆公司

申请日：2018-12-14

公开（公告）日：2023-05-26

公开（公告）号：CN111512410B

主分类号：H01J37/301

分类号：H01J37/301;B22F3/105;B23K15/00;B33Y10/00;B33Y30/00;B33Y50/02;B29C64/153;B29C64/393;B29C64/268;H01J37/304;B23K15/06

优先权：["20171222 US 62/609,396","20181120 US 16/195,970"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.05.26#授权;2020.09.01#实质审查的生效;2020.08.07#公开

摘要：一种电子束源，其包括阴极，阳极，用于将电子束偏转在目标表面上的装置以及至少一个真空泵，该电子束源还包括布置在阳极和用于偏转电子束的装置之间的收缩区域，其中，收缩区域中的孔相对于阴极与阳极中的孔对准，第一真空泵布置在收缩区域与阳极之间，第二真空泵布置在阳极上方，气体入口设置在收缩区域和用于偏转电子束的装置之间，其中电子束的第一交叉点布置在收缩区域处或紧邻收缩区域。

主权项：1.一种电子束源，其特征在于，包括：阴极，阳极，用于将电子束偏转到目标表面上的装置，至少一个真空泵；和收缩孔口，所述收缩孔口布置在所述阳极和用于偏转所述电子束的所述装置之间，其中：所述收缩孔口相对于所述阴极与所述阳极中的孔口对准；所述收缩孔口小于所述阳极中的所述孔口；第一真空泵布置在所述收缩孔口与所述阳极之间，第二真空泵布置在所述阳极上方；气体入口设置在所述收缩孔口和用于偏转所述电子束的所述装置之间；并且所述电子束的第一交叉点布置在所述收缩孔口处或紧邻所述收缩孔口。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 阿尔卡姆公司 增强电子束生成

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