申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司

申请日：2020-10-15

公开（公告）日：2023-05-26

公开（公告）号：CN114369813B

主分类号：C23C16/455

分类号：C23C16/455;C23C16/458;C23C16/52

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.05.26#授权;2022.05.06#实质审查的生效;2022.04.19#公开

摘要：本发明提供一种扩散炉，包括：反应腔室，沿第一方向延伸，反应腔室具有排气端，多个晶圆能够沿第一方向依次设置，晶圆表面沿第二方向延伸，第二方向与第一方向垂直或呈一锐角；多个气体管道，贯通反应腔室的侧壁，以将外部反应气体引入反应腔室，气体通道自排气端沿第一方向分布，气体通道的轴心与第二方向具有一锐角夹角。本发明通过气体通道的的倾斜设计使得自所述气体通道喷出的反应气体能够直达晶圆的中心，从而解决了沉积过程中两边厚中间薄的问题，而由于排气端排气的作用，反应气体到达晶圆中间会向两边扩散，同时晶舟旋转加速气体的扩散，使得单片晶圆表面中心与边缘沉积的膜层的厚度更加均匀，提高产品良率。

主权项：1.一种扩散炉，其特征在于，包括：反应腔室，沿第一方向延伸，所述反应腔室具有排气端，多个晶圆能够沿第一方向依次设置，所述晶圆表面沿第二方向延伸，所述第二方向与所述第一方向垂直或呈一锐角；多个气体通道，贯通所述反应腔室的侧壁，以将外部反应气体引入所述反应腔室，所述气体通道自所述排气端沿所述第一方向分布，且所述气体通道的轴心与所述第二方向具有一锐角夹角，沿所述第一方向，自所述排气端起，所述气体通道的孔径逐渐减小，在所述第一方向上，所述气体通道被划分为多个通道组，同一所述通道组的气体通道的孔径相同；所述扩散炉还包括进气管，所述进气管与所述气体通道连通，用于向所述气体通道输送反应气体，所述进气管包括多根管路，每一管路可与一个或多个气体通道连通，以分别向所述气体通道输送反应气体。

全文数据：

权利要求：

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