申请/专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所

申请日：2023-02-15

公开（公告）日：2023-05-26

公开（公告）号：CN115877544B

主分类号：G02B7/182

分类号：G02B7/182;G02B7/183;G02B23/16;G02B7/00;G02B7/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.05.26#授权;2023.04.18#实质审查的生效;2023.03.31#公开

摘要：本发明涉及拼接主镜的驱动装置及方法，具体涉及一种拼接主镜的精调驱动机构、直线驱动装置及其驱动方法，用于解决作为拼接主镜调整重要使能技术的大行程高精度直线驱动装置，在驱动精度、位移曲线线性度、调整功能可靠性和结构紧凑性等方面，都有待进一步提高的不足之处，该拼接主镜的精调驱动机构由对称式构型的位移缩放柔顺机构和线性驱动器组成，其中，位移缩放柔顺机构位移缩放比高达100以上，配合高输出精度的线性驱动器，能够使得直线驱动装置的最小输出位移达到5nm量级，同时具有优于10μm的精调行程。同时，本发明公开一种拼接主镜的直线驱动装置及其驱动方法。

主权项：1.一种拼接主镜的精调驱动机构，其特征在于：包括线性驱动器2和位移缩放柔顺机构3；所述位移缩放柔顺机构3包括固定座34、设置在固定座34上端的二级缩放机构33，以及对称分布在固定座34、二级缩放机构33两侧的两个一级缩放机构31；所述一级缩放机构31为杠杆缩放机构，其由旋转支点313处分为长臂段311和短臂段312；所述二级缩放机构33为菱形缩放机构，其由分隔线333处分为长端和短端，长端两侧作为长动臂331，短端两侧作为短动臂332；各旋转支点313与固定座34连接，各长臂段311端部与线性驱动器2驱动端连接处作为精调位移输入端，各短臂段312端部通过过渡杆32与同侧长动臂331、同侧短动臂332连接，各短臂段312端部与过渡杆32之间、过渡杆32与二级缩放机构33之间均设置有柔性铰链，两侧短动臂332均通过柔性铰链与固定座34连接；所述长端端部设置被驱动体，作为精调位移输出端；两个所述过渡杆32均位于所述分隔线333上，长动臂331与分隔线333之间的夹角、短动臂332与分隔线333之间的夹角均为θ，θ＜90°；所述位移缩放柔顺机构3长端沿垂直所述分隔线333方向进行运动，且输出位移量为Ddsm； 其中，L1为长臂段311与线性驱动器2驱动端的连接点与旋转支点313之间沿垂直过渡杆32所在直线方向的距离；L2为短臂段312与过渡杆32的连接点与旋转支点313之间沿垂直过渡杆32所在直线方向的距离；Dla为位移缩放柔顺机构3的输入位移量，与线性驱动器2驱动端的位移量相等。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院西安光学精密机械研究所 拼接主镜的精调驱动机构、直线驱动装置及其驱动方法

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