申请/专利权人：南京工程学院

申请日：2020-08-21

公开（公告）日：2023-05-26

公开（公告）号：CN112301329B

主分类号：C23C16/455

分类号：C23C16/455;C23C16/48;B33Y30/00;B33Y10/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.05.26#授权;2021.02.23#实质审查的生效;2021.02.02#公开

摘要：本发明实施例公开了一种微纳3D打印方法及打印设备，涉及新能源技术领域，能够实现ALD的原子级制造精度的同时，又能缓减ALD中的缺陷。本发明包括：将基底37放入腔体3内，启动真空泵35对腔体3抽真空；将等离子气体气源通入等离子体枪4，等离子气体在等离子体枪4内发生电离后，产生活性官能团自由基，对基底37表面进行活性官能团的接枝；激光头1按照打印图样照射扫描基底37的表面加热；通入第一前驱体源，激光头1照射步骤S3中形成的活性官能团图样，形成的第一前驱体源图样；通入第二前驱体源，激光头1照射步骤S4中形成的第一前驱体源图样，形成分子层的图样；激光头1照射步骤S5中形成的分子层图样去除杂质。本发明适用于微纳3D打印。

主权项：1.一种微纳3D打印方法，其特征在于，包括：步骤一，将基底（37）放入腔体（3）内，启动真空泵（35）对腔体（3）抽真空；步骤二，将等离子气体气源通入等离子体枪（4），所述等离子气体在等离子体枪（4）内发生电离后，产生活性官能团自由基，对基底（37）表面进行活性官能团的接枝；步骤三，启动激光头（1），激光头（1）按照打印图样照射扫描基底（37）的表面，对基底（37）的表面加热；步骤四，通入第一前驱体源，激光头（1）照射所述步骤S3中形成的活性官能团图样，形成的第一前驱体源图样；步骤五，通入第二前驱体源，激光头（1）照射所述步骤S4中形成的第一前驱体源图样，形成分子层的图样；步骤六，激光头（1）照射所述步骤S5中形成的分子层图样；在所述步骤一中，将腔体（3）的真空度维持在800Pa以下；在所述步骤二中，打印的对象为氧化物材料，则采用含羟基-OH的有机物气体作为所述等离子气体气源；或者，打印的对象为硫化物材料，则采用含巯基-SH的有机物气体作为所述等离子气体气源。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京工程学院 一种微纳3D打印方法及打印设备

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