申请/专利权人：三一硅能(株洲)有限公司

申请日：2023-01-31

公开（公告）日：2023-05-26

公开（公告）号：CN219085952U

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.05.26#授权

摘要：本申请涉及腔体传输技术领域，具体提供了一种传输机构及腔体设备。该传输机构设置在腔体上，包括：动力件及设置在腔体内的载板；传动件，转动设置，与动力件传动连接，并与载板螺纹连接或啮合连接，以在驱动下能使载板从腔体的一端移向另一端。本申请提供的传输机构，动力传递稳定，易于设置，能使载板平稳地直线移动，保证移动顺畅性和精准性，同时腔体开孔数量少，也更便于保证腔体的密封性能，避免影响腔体内所施行工艺的质量效果，解决了现有技术中通过滚轮带动载体移动而存在的诸多问题。

主权项：1.一种传输机构，设置在腔体上，其特征在于，包括：动力件及设置在所述腔体内的载板；传动件，转动设置，与所述动力件传动连接，并与所述载板螺纹连接或啮合连接，以在驱动下能使所述载板从所述腔体的一端移向另一端。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三一硅能(株洲)有限公司 一种传输机构及腔体设备

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