申请/专利权人：苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司

申请日：2022-12-28

公开（公告）日：2023-05-26

公开（公告）号：CN219078462U

主分类号：B65G47/91

分类号：B65G47/91

优先权：["20220926 CN 2022111788624"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.05.26#授权

摘要：本实用新型属于芯片制造技术领域，公开了一种吸附装置，其用于芯片的吸附转运，具体包括：吸嘴主体和导向件。吸嘴主体开设有用于与喷气嘴连接的第一气孔、与第一气孔连通的第二气孔以及与第二气孔连通的吸附缺口，吸附缺口的侧壁设有导向面；导向件设置在吸附缺口内，导向件与第二气孔远离第一气孔的一端形成朝向导向面开口的导向间隙，导向面用于将气体导流喷出吸附缺口，以在芯片的上下两侧形成压强差。以此芯片在吸附固定过程中，其主要受到由上下压强差而产生的推力来对其进行固定，而不同尺寸的芯片与该吸附缺口相对应时，均可以形成该推力，因此该吸附缺口可以对不同尺寸的芯片进行吸附固定，从而提高了该吸附装置的适用范围。

主权项：1.一种吸附装置，其特征在于，所述吸附装置用于芯片300的吸附转运，包括：吸嘴主体100，所述吸嘴主体100开设有用于与喷气嘴连接的第一气孔110、与所述第一气孔110连通的第二气孔120以及与所述第二气孔120连通的吸附缺口130，所述吸附缺口130的侧壁设有导向面131；导向件200，设置在所述吸附缺口130内，所述导向件200与所述第二气孔120远离所述第一气孔110的一端形成朝向所述导向面131开口的导向间隙201，所述导向面131用于将气体导流喷出所述吸附缺口130，以在所述芯片300的上下两侧形成压强差。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司 一种吸附装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD