申请/专利权人：三一硅能(株洲)有限公司

申请日：2022-12-22

公开（公告）日：2023-05-26

公开（公告）号：CN219079642U

主分类号：C23C16/44

分类号：C23C16/44;C23C16/50;C23C16/52;H01L31/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.05.26#授权

摘要：本实用新型涉及光伏技术领域，提供一种抽真空装置及太阳能电池加工系统，包括真空泵、抽气管道、检测反应室压力的压力检测元件和控制器，抽气管道包括第一抽气管道和第二抽气管道，第一抽气管道和第二抽气管道进气口与反应室连通，第一抽气管道和第二抽气管道出气口与真空泵连通；第一抽气管道设有控制第一抽气管道通断的第一阀门；第二抽气管道设有检测和控制第二抽气管道气体流量的流量控制装置，第一阀门、流量控制装置和压力检测元件均与控制器通信连接，控制器根据压力检测元件的检测信号控制流量控制装置开度和第一阀门启闭。通过带有流量控制装置的第二抽气管道对反应室进行慢抽气，使通入反应室的气体流量减小，可节省工艺所需的气体。

主权项：1.一种抽真空装置，其特征在于，包括：真空泵；抽气管道，用于连接所述真空泵和反应室，所述抽气管道包括第一抽气管道和第二抽气管道，所述第一抽气管道的进气口和所述第二抽气管道的进气口均与所述反应室连通，所述第一抽气管道的出气口和所述第二抽气管道的出气口均与所述真空泵连通；所述第一抽气管道上设置有第一阀门，所述第一阀门用于控制所述第一抽气管道的通断；所述第二抽气管道上设置有流量控制装置，所述流量控制装置用于检测和控制经过所述第二抽气管道的气体流量；压力检测元件，用于检测所述反应室内的压力；控制器，所述第一阀门、所述流量控制装置和所述压力检测元件均与所述控制器通信连接，且所述控制器能够根据所述压力检测元件的检测信号控制所述流量控制装置的开度和所述第一阀门的启闭。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三一硅能(株洲)有限公司 抽真空装置及太阳能电池加工系统

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