申请/专利权人:三星电子株式会社
申请日:2022-11-23
公开(公告)日:2023-05-26
公开(公告)号:CN116171047A
主分类号:H10B51/30
分类号:H10B51/30
优先权:["20211125 KR 10-2021-0164865"]
专利状态码:在审-公开
法律状态:2023.05.26#公开
摘要:根据本发明构思的一种铁电存储器件包括:具有源极漏极区的基板;在基板上的界面层;在界面层上的高介电层;在高介电层上的铁电层;以及在铁电层上的栅电极层。高介电层和铁电层具有不同晶体结构的相。
主权项:1.一种铁电存储器件,包括:基板,包括源极漏极区;在所述基板上的界面层;在所述界面层上的高介电层;在所述高介电层上的铁电层;以及在所述铁电层上的栅电极层,其中所述高介电层和所述铁电层包括不同晶体结构的相。
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