申请/专利权人：东京毅力科创株式会社

申请日：2022-11-21

公开（公告）日：2023-05-30

公开（公告）号：CN116190299A

主分类号：H01L21/683

分类号：H01L21/683;H01L21/677

优先权：["20211129 JP 2021-193577"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.06.16#实质审查的生效;2023.05.30#公开

摘要：本公开提供一种基板搬送装置和基板搬送方法，在使用基板搬送模块进行基板以外的搬送物的搬送的情况下也能够进行准确的动作控制。基板搬送装置的控制部调节设置于基板搬送室的底面部的第一磁体的磁力，通过具备第二磁体的基板搬送模块来进行基板的搬送，参数存储部存储用于表现施加于控制用模型的工作力与运动之间的关系的模型参数，所述控制用模型是将搬送物与基板搬送模块一体地表现的模型，控制时间表制作部使用与搬送物对应的模型参数以及规定了基板搬送模块的运动的动作时间表，输出规定了用于使基板搬送模块动作的工作力的控制时间表。磁力调节部执行前馈控制，在该前馈控制中，调节所述第一磁体的磁力，以施加基于控制时间表的所述工作力。

主权项：1.一种基板搬送装置，进行针对基板处理室的基板的搬送，所述基板搬送装置具备：基板搬送室，其具有底面部和侧壁部，所述底面部设置有可调节磁力的第一磁体，所述侧壁部与所述基板处理室连接，在所述侧壁部形成有用于与该基板处理室之间进行所述基板的搬入和搬出的开口部；基板搬送模块，其具备保持部和第二磁体，所述保持部构成为能够分别保持多种搬送物，所述多种搬送物是所述基板、或者在所述基板搬送室或所述基板处理室中使用的设备，在所述第二磁体与所述第一磁体之间作用有排斥力，所述基板搬送模块构成为通过利用了所述排斥力的磁悬浮而能够在所述基板搬送室内移动；以及控制部，其通过调节所述第一磁体的磁力来改变所述排斥力，由此使用前馈控制来控制用于使所述基板搬送模块进行动作的工作力，其中，所述控制部具备：参数存储部，其将用于表现施加于控制用模型的工作力与所述控制用模型的运动之间的关系的至少一个模型参数以与所述多种搬送物的各种搬送物建立对应的方式存储，所述控制用模型是将所述搬送物与所述基板搬送模块一体地表现的模型；控制时间表制作部，其获取用于确定所述搬送物的确定信息和沿时间轴规定了所述基板搬送模块的运动的动作时间表，使用所述参数存储部中存储的与所述确定信息对应的所述控制用模型的所述模型参数来求出在使保持有与所述确定信息对应的所述搬送物的所述基板搬送模块基于所述动作时间表进行动作的情况下应施加的所述工作力，并作为沿所述时间轴规定了所述工作力的控制时间表进行输出；以及磁力调节部，其调节所述第一磁体的磁力，以对搬送与所述确定信息对应的所述搬送物的所述基板搬送模块施加基于所述控制时间表的所述工作力，由此执行所述前馈控制。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东京毅力科创株式会社 基板搬送装置和基板搬送方法

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