申请/专利权人:富士胶片株式会社
申请日:2021-07-07
公开(公告)日:2023-05-30
公开(公告)号:CN116194845A
主分类号:G03F7/20
分类号:G03F7/20
优先权:["20200831 JP 2020-145976"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2023.06.16#实质审查的生效;2023.05.30#公开
摘要:本发明提供一种光掩模及其应用,上述光掩模包含:透明支承体,具有第1面及与上述第1面相反侧的第2面;及遮光层,配置于上述透明支承体的上述第1面的一部分上,上述第1面的露出部分的表面粗糙度Rz为0.1μm~0.5μm,上述遮光层的表面粗糙度Rz为0.1μm~0.5μm。
主权项:1.一种光掩模,其包含:透明支承体,其具有第1面及与所述第1面相反侧的第2面;及遮光层,其配置于所述透明支承体的所述第1面的一部分上,所述第1面的露出部分的表面粗糙度Rz为0.1μm~0.5μm,所述遮光层的表面粗糙度Rz为0.1μm~0.5μm。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 富士胶片株式会社 光掩模、曝光方法、树脂图案的制造方法及光掩模的制造方法
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