申请/专利权人:湖北兴福电子材料股份有限公司
申请日:2022-12-28
公开(公告)日:2023-05-30
公开(公告)号:CN116179204A
主分类号:C09K13/06
分类号:C09K13/06;H01L21/311
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2023.06.16#实质审查的生效;2023.05.30#公开
摘要:本发明提供了一种磷酸基蚀刻液及其配制方法。一种磷酸基蚀刻液其主要成分包括占蚀刻液总重量50‑88%的磷酸、0.005‑2%的添加剂,余量为水。本发明通过使用新型添加剂的成分及类型。明显抑制了蚀刻液蚀刻过程Si2+与晶圆表面结合,抑制SiO2再生层生成,提高磷酸基蚀刻液使用寿命。
主权项:1.一种磷酸基蚀刻液,其特征在于:所述的蚀刻液成分包括占蚀刻液总重量50-88%的磷酸、0.005-2%的添加剂,余量为水。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 湖北兴福电子材料股份有限公司 一种磷酸基蚀刻液及其配制方法
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