申请/专利权人:华海清科股份有限公司
申请日:2022-12-28
公开(公告)日:2023-05-30
公开(公告)号:CN116175367A
主分类号:B24B27/02
分类号:B24B27/02;B24B7/22;B24B41/06;B24B41/00;B24B55/06
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2023.06.16#实质审查的生效;2023.05.30#公开
摘要:本发明公开了一种基板减薄工作台、基板减薄装置和基板减薄方法,所述基板减薄工作台包括:转台;吸盘,其设置于所述转台上部,以承载待处理基板;冲洗组件,其设置于所述吸盘上侧,以冲洗吸盘表面;刷洗组件,其包括摆臂和刷洗头,所述摆臂的一端转动连接于所述转台的外侧,其另一端配置有刷洗头;所述刷洗头包括刷洗基座、刷体和驱动电机,所述驱动电机固定于所述刷洗基座,其输出轴连接于所述刷体,以刷洗吸盘表面;所述刷洗基座的上表面配置有环形槽,所述环形槽与外部的真空源连通;所述环形槽的内部设置有流体通道,所述流体通道沿所述刷洗基座的厚度方向贯通设置,所述流体通道能够吸附吸盘表面的颗粒物。
主权项:1.一种基板减薄工作台,其特征在于,包括:转台;吸盘,其设置于所述转台上部,以承载待处理基板;冲洗组件,其设置于所述吸盘上侧,以冲洗吸盘表面;刷洗组件,其包括摆臂和刷洗头,所述摆臂的一端转动连接于所述转台的外侧,其另一端配置有刷洗头;所述刷洗头包括刷洗基座、刷体和驱动电机,所述驱动电机固定于所述刷洗基座,其输出轴连接于所述刷体,以刷洗吸盘表面;所述刷洗基座的上表面配置有环形槽,所述环形槽与外部的真空源连通;所述环形槽的内部设置有流体通道,所述流体通道沿所述刷洗基座的厚度方向贯通设置,所述流体通道能够吸附吸盘表面的颗粒物。
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权利要求:
百度查询: 华海清科股份有限公司 一种基板减薄工作台、基板减薄装置和基板减薄方法
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