申请/专利权人：湖北兴福电子材料股份有限公司

申请日：2022-12-15

公开（公告）日：2023-05-30

公开（公告）号：CN116177892A

主分类号：C03C15/00

分类号：C03C15/00;C09K13/02;C09K13/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.06.16#实质审查的生效;2023.05.30#公开

摘要：本发明涉及一种高选择性碱性玻璃蚀刻液及其蚀刻方法。利用无极碱、有机碱，胺类化合物，醇类化合物，非离子氟碳表面活性剂等形成的蚀刻液对金属层上的玻璃进行选择性蚀刻处理，达到环保、高选择性减薄玻璃的作用而尽可能不伤害导电金属层。通过调整蚀刻液中的组分、含量配比，以及蚀刻方法，实现玻璃表层粗糙度低，玻璃蚀刻均匀，玻璃蚀刻速率与金属蚀刻速率选择比佳的作用。

主权项：1.一种高选择性碱性玻璃蚀刻液及其蚀刻方法，其特征在于：所述的蚀刻液由质量含量为1%-40%的无机碱、0.1%-10%的有机碱，质量含量为0.1%-10%的胺类化合物，质量含量为0.1%-15%的醇类化合物，质量含量为0.01%-5%的非离子氟碳表面活性剂。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 湖北兴福电子材料股份有限公司 一种高选择性碱性玻璃蚀刻液及其蚀刻方法

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