申请/专利权人:苏州德龙激光股份有限公司
申请日:2023-03-14
公开(公告)日:2023-05-30
公开(公告)号:CN116174966A
主分类号:B23K26/70
分类号:B23K26/70;B23K26/362
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2023.06.16#实质审查的生效;2023.05.30#公开
摘要:本发明涉及铌酸锂材料激光无尘打标装置及打标方法,沿光路依次设置有纳秒紫外激光器、光斑整形模组、功率实时反馈调节模组、扫描振镜以及聚焦镜,光斑整形模组包含依光路传输方向设置的扩束镜、匀光组件和光斑选择模组,功率实时反馈调节模组包含依光路传输方向设置的玻片和分光镜,电机与玻片驱动连接,能带动玻片转动,分光镜的反射光路上布置有功率计,分光镜的透射光路上布置有反射单元,反射单元的反射光路上衔接扫描振镜,聚焦镜的输出端正对于加工平台上的铌酸锂材料。采用合适波长、峰值功率和脉宽的激光器,光斑整形模组提供多光斑选择和均匀能量密度分布,获得合适的打标点径和深度;功率实时反馈调节模组实时控制打标激光的能量稳定。
主权项:1.铌酸锂材料激光无尘打标装置,其特征在于:沿光路依次设置有纳秒紫外激光器10、光斑整形模组20、功率实时反馈调节模组30、扫描振镜50以及聚焦镜60,所述光斑整形模组20包含依光路传输方向设置的扩束镜21、匀光组件22和光斑选择模组23,所述功率实时反馈调节模组30包含依光路传输方向设置的玻片31和分光镜32,电机与玻片31驱动连接,能带动玻片31转动,分光镜32的反射光路上布置有功率计33,分光镜32的透射光路上布置有反射单元,反射单元的反射光路上衔接扫描振镜50,聚焦镜60的输出端正对于加工平台90上的铌酸锂材料80。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 苏州德龙激光股份有限公司 铌酸锂材料激光无尘打标装置及其打标方法
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