申请/专利权人：日新离子机器株式会社

申请日：2020-03-11

公开（公告）日：2023-05-30

公开（公告）号：CN111755301B

主分类号：H01J37/05

分类号：H01J37/05;H01J37/30;H01J37/32

优先权：["20190327 JP 2019-059842"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.05.30#授权;2020.10.30#实质审查的生效;2020.10.09#公开

摘要：本发明涉及一种质量分离器，课题在于可在不使作业变得繁重下进行束路径的清扫等维护。本发明为一种对离子束IB进行质量分离的质量分离器100，该质量分离器具备：移动机构30，用以使属于包围束路径L的由磁性体所构成的磁轭13的构成要素的位于束路径L的上方、下方或侧方的上部磁轭13a、下部磁轭13b或侧方磁轭13c、d的至少任一者，于离子束IB的行进中的通常位置P与不和通常位置P的至少一部分重叠的退避位置Q之间移动。

主权项：1.一种质量分离器，使离子束的行进方向弯曲以对该离子束进行质量分离，该质量分离器具备：线圈，设置在沿着所述离子束的行进方向弯曲的束路径的周围；磁轭，与所述线圈一同包围所述束路径且由磁性体所构成；以及移动机构，用以使属于所述磁轭的构成要素的分别位于所述束路径的上方或下方的上部磁轭或下部磁轭的至少任一者，于所述离子束的行进中的通常位置、与不和所述通常位置的至少一部分重叠的退避位置之间移动；所述移动机构具有：固定构件，被固定在位于所述通常位置的所述上部磁轭或所述下部磁轭；升降机构，使所述固定构件升降；以及旋转机构，使所述固定构件旋转移动；且所述固定构件通过所述升降机构来升降并通过所述旋转机构来旋转移动，而使被固定在所述固定构件的所述上部磁轭或所述下部磁轭于所述通常位置与所述退避位置之间移动；所述移动机构配置在弯曲的所述束路径的径向内侧。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 日新离子机器株式会社 质量分离器

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