申请/专利权人：群创光电股份有限公司

申请日：2020-09-17

公开（公告）日：2023-05-30

公开（公告）号：CN112993020B

主分类号：H01L29/417

分类号：H01L29/417;H01L27/12

优先权：["20191212 US 62/946,976"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.05.30#授权;2021.07.06#实质审查的生效;2021.06.18#公开

摘要：本揭露提供一种电子装置，包括基板以及多个晶体管。多个晶体管设置于基板上。多个晶体管中至少一个包括半导体层、栅绝缘层、栅极、第一电极以及第二电极。半导体层设置于基板上。栅绝缘层设置于半导体层上且包括多个第一接触孔与多个第二接触孔。栅极设置于栅绝缘层上。第一电极设置于栅极上且具有远离栅极的第一侧。第一电极通过多个第一接触孔接触半导体层。第二电极设置于栅极上且具有远离栅极的第二侧。第二电极通过多个第二接触孔接触半导体层。多个第一接触孔具有远离栅极的第一边缘。第一侧与栅极之间的最小距离小于多个第一接触孔中的一个第一接触孔的第一边缘与栅极之间的最小距离。本揭露实施例的电子装置可具有较小的尺寸。

主权项：1.一种电子装置，其特征在于，包括：基板；以及多个晶体管，设置于所述基板上，其中所述多个晶体管中至少一个，包括：半导体层，设置于所述基板上；栅绝缘层，设置于所述半导体层上，且包括多个第一接触孔与多个第二接触孔；栅极，设置于所述栅绝缘层上；第一电极，设置于所述栅极上，具有远离所述栅极的第一侧，且通过所述多个第一接触孔接触所述半导体层；以及第二电极，设置于所述栅极上，具有远离所述栅极的第二侧，且通过所述多个第二接触孔接触所述半导体层，其中所述多个第一接触孔具有远离所述栅极的第一边缘，且所述第一侧与所述栅极之间的最小距离小于所述多个第一接触孔中的一个所述第一接触孔的所述第一边缘与所述栅极之间的最小距离。

全文数据：

权利要求：

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