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申请/专利权人：浙江大学
摘要：本发明公开了一种基于杠杆式静电梳齿设计的准零刚度MEMS加速度计，属于准零刚度加速度计领域。包括敏感质量块、杠杆模块、驱动及检测梳齿模块、轴向力梳齿模块；敏感质量块通过直梁与杠杆模块的阻力臂相连；驱动及检测梳齿模块位于敏感质量块的上下侧；轴向力梳齿模块中的固定梳齿阵列固定，可动梳齿阵列连接杠杆模块的动力臂；杠杆模块为力的转化结构，用于将轴向力梳齿模块所产生的静电力转化为连接敏感质量块的直梁端部的轴向压力，杠杆模块的动力臂长度大于阻力臂长度。本发明在加速度计中利用杠杆的放大效果，将静电梳齿产生的力按比例放大施加在梁的自由端，大大降低了静电力所需的电压，解决了静电不能产生斥力的困扰。
主权项：1.一种基于杠杆式静电梳齿设计的准零刚度MEMS加速度计，其特征在于，包括：敏感质量块，其位于加速度计中心，敏感质量块两侧对称设有若干凹槽，每一个凹槽底部通过直梁连接杠杆模块的阻力臂；杠杆模块，其作为力的转化结构，用于将轴向力梳齿模块产生的静电力转化为连接敏感质量块的直梁端部的轴向压力，所述的杠杆模块的动力臂长度大于阻力臂长度；驱动及检测梳齿模块，其由第一梳齿模块和第二梳齿模块构成，分别位于敏感质量块的上下侧；轴向力梳齿模块，其包括固定梳齿阵列和与固定梳齿阵列相匹配的可动梳齿阵列，所述的固定梳齿阵列位于杠杆模块的动力臂上下侧，所述的可动梳齿阵列连接杠杆模块的动力臂。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江大学 基于杠杆式静电梳齿设计的准零刚度MEMS加速度计
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