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检测系统 

申请/专利权人:清软微视(杭州)科技有限公司

申请日:2024-01-31

公开(公告)日:2024-06-07

公开(公告)号:CN118150571A

主分类号:G01N21/88

分类号:G01N21/88;G01N21/01

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.06.25#实质审查的生效;2024.06.07#公开

摘要:本发明公开了一种检测系统,检测系统包括:图形探测器;聚焦组件,聚焦组件的一侧设有图形探测器,且聚焦组件的远离图形探测器的一侧设有待检测件,图形探测器、聚焦组件和待检测件共轴;光源发生器,光源发生器发出的光线与待检测件的朝向聚焦组件的表面形成的角度为锐角。根据本发明的检测系统,能够减少杂光信号,确保检测精度,且便于空间布置。

主权项:1.一种检测系统,其特征在于,包括:图形探测器;聚焦组件,所述聚焦组件的一侧设有所述图形探测器,且所述聚焦组件的远离所述图形探测器的一侧设有待检测件,所述图形探测器、所述聚焦组件和所述待检测件共轴;光源发生器,所述光源发生器发出的光线与所述待检测件的朝向所述聚焦组件的表面形成的角度为锐角。

全文数据:

权利要求:

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