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基板旋转装置、基板清洗装置、基板处理装置以及基板旋转装置的控制方法 

申请/专利权人:株式会社荏原制作所

申请日:2019-08-09

公开(公告)日:2024-06-07

公开(公告)号:CN110828335B

主分类号:H01L21/67

分类号:H01L21/67;H01L21/687

优先权:["20180810 JP 2018-151378"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.07#授权;2021.04.30#实质审查的生效;2020.02.21#公开

摘要:本发明提供一种进步的基板旋转装置、基板清洗装置、基板处理装置以及基板旋转装置的控制方法。该基板旋转装置具备:外筒;内筒,该内筒定位于外筒的内部;电机,该电机用于使内筒旋转;磁轴承,该磁轴承用于使内筒磁悬浮;以及基板保持部,该基板保持部设置于内筒,电机是径向电机,该径向电机具备:电机定子,该电机定子安装于外筒;以及电机转子,该电机转子安装于内筒,磁轴承是径向磁轴承,该径向磁轴承具备:磁轴承定子,该磁轴承定子安装于外筒;以及磁轴承转子,该磁轴承转子安装于内筒,磁轴承构成为利用磁轴承定子与磁轴承转子之间的引力使内筒磁悬浮。

主权项:1.一种基板旋转装置,具备:外筒;内筒,该内筒定位于所述外筒的内部;电机,该电机用于使所述内筒旋转;磁轴承,该磁轴承用于使所述内筒磁悬浮;以及基板保持部,该基板保持部设置于所述内筒,该基板旋转装置的特征在于,所述电机是径向电机,该径向电机具备:电机定子,该电机定子安装于所述外筒;以及电机转子,该电机转子安装于所述内筒,所述磁轴承是径向磁轴承,该径向磁轴承具备:磁轴承定子,该磁轴承定子安装于所述外筒;以及磁轴承转子,该磁轴承转子安装于所述内筒,所述磁轴承构成为利用所述磁轴承定子与所述磁轴承转子之间的引力使所述内筒磁悬浮,所述内筒上下移动自如地定位于所述外筒的内部,所述基板旋转装置具备控制部,所述控制部通过对所述磁轴承的偏压电流进行控制,从而使所述内筒在第一位置与第二位置之间沿上下方向移动,该第二位置是比所述第一位置高的位置,所述基板旋转装置不具备轴向磁轴承。

全文数据:

权利要求:

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