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银电极的制备方法 

申请/专利权人:深圳大学

申请日:2022-03-03

公开(公告)日:2024-06-07

公开(公告)号:CN114784120B

主分类号:H01L31/0224

分类号:H01L31/0224;H01L31/18

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.07#授权;2022.08.09#实质审查的生效;2022.07.22#公开

摘要:本申请涉及电极工艺技术领域,尤其涉及一种银电极的制备方法,包括如下步骤:将初始金刚石依次进行酸洗处理和等离子体处理,得到预处理金刚石;将预处理金刚石进行干燥处理,然后涂覆光刻胶层;对预处理金刚石表面的光刻胶层进行曝光、显影,形成电极图案;在预处理金刚石表面的电极图案上沉积金属银,然后去胶处理,得到银电极。该制备方法可以使金刚石表面与金属银稳定结合,不仅可以提高光刻成功率,而且得到的银电极具有很好的光响应性能,在金刚石器件制备中具有很好的应用。

主权项:1.一种银电极的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:将初始金刚石依次进行酸洗处理和等离子体处理,得到预处理金刚石;其中,所述酸洗处理的步骤包括:将所述初始金刚石置于硝酸和硫酸的混合液中进行第一清洗处理,然后置于盐酸溶液中进行第二清洗处理,再置于氢氟酸溶液中进行第三清洗处理;所述混合液由体积比为1:1的浓硝酸和浓硫酸组成;所述第一清洗处理包括:280~320℃条件下加热28~32min;所述第二清洗处理包括:120~180℃条件下加热28~32min;所述第三清洗处理包括:超声处理2~8min;所述等离子体处理包括氧等离子体处理;将所述预处理金刚石进行干燥处理,然后涂覆光刻胶层;对所述预处理金刚石表面的光刻胶层进行曝光、显影,形成电极图案;在所述预处理金刚石表面的电极图案上沉积金属银,然后去胶处理,得到银电极。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 深圳大学 银电极的制备方法

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