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申请/专利权人：技感半导体设备(南通)有限公司
申请日：2023-12-20
公开（公告）日：2024-07-12
公开（公告）号：CN117650089B
专利技术分类：..使用专用的载体的[2006.01]
专利摘要：一种基板载具，包括下载板、上盖、在磁铁的磁力作用下分别压住对应定位槽中的基板的多个压板以及在所述压板的上方进行限位的限位件，所述下载板的上表面具有用于放置基板的多个定位槽，下表面设有磁铁，所述下载板具有用于安装所述上盖的第一定位结构，所述上盖具有与所述第一定位结构适配的第二定位结构，所述压板的数量与所述定位槽的数量相同，所述上盖具有供所述多个压板接触对应的基板的多个通孔，所述多个通孔与所述多个定位槽上下一一对应，所述多个压板嵌于对应的通孔中，所述限位件固定于所述上盖上。本发明基板载具通过磁力由多个压板分别来压紧与其一一对应的基板，提高了载具的稳定性和精度，提升产品良率。
专利权项：1.一种基板载具，包括下载板以及上盖，所述下载板的上表面具有用于放置基板的多个定位槽，下表面设有磁铁，所述下载板具有用于安装所述上盖的第一定位结构，所述上盖具有与所述第一定位结构适配的第二定位结构，其特征在于，还包括在所述磁铁的磁力作用下分别压住对应定位槽中的基板的多个压板以及在所述压板的上方进行限位的限位件，所述压板的数量与所述定位槽的数量相同，所述上盖具有供所述多个压板接触对应的基板的多个通孔，所述多个通孔与所述多个定位槽上下一一对应，所述多个压板嵌于对应的通孔中，所述限位件固定于所述上盖上；其中，所述压板采用磁性金属材质，所述磁铁对应每个压板呈回字形布置，多个压板可分别经多个通孔与对应定位槽中的基板接触，并在磁铁的磁力作用下分别压住对应的基板。
百度查询： 技感半导体设备(南通)有限公司 基板载具
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