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摘要：提供一种含金属光刻胶显影剂组合物以及包括使用所述含金属光刻胶显影剂组合物进行显影的步骤的形成图案的方法，所述含金属光刻胶显影剂组合物包含有机溶剂、酸化合物以及所述酸化合物的共轭碱化合物。
主权项：1.一种含金属光刻胶显影剂组合物，包括：有机溶剂，酸化合物，以及所述酸化合物的共轭碱化合物。
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百度查询： 三星SDI株式会社 含金属光刻胶显影剂组合物以及包括使用所述组合物进行显影的步骤的形成图案的方法
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