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摘要：本发明的成膜用掩模夹具270具备：收容部273，收容被成膜物；掩模部274，在成膜时位于被成膜物的下方，用于防止被成膜物向非成膜区域的成膜；以及掉落抑制构件275，在未设置掩模部274的开口部中，设置于在被成膜物被收容于收容部273的状态下不与被成膜物接触的位置，用于抑制被成膜物的掉落。由此，能够抑制向开口部的被成膜物的掉落。
主权项：1.一种成膜用掩模夹具，其特征在于，具备：收容部，收容被成膜物；掩模部，在成膜时位于所述被成膜物的下方，用于防止向所述被成膜物的非成膜区域的成膜；以及掉落抑制构件，在未设置所述掩模部的开口部中，设置于在所述被成膜物被收容于所述收容部的状态下不与所述被成膜物接触的位置，用于抑制所述被成膜物的掉落，当在所述被成膜物被收容于所述收容部时在所述被成膜物与所述掩模部对置的方向上观察时，所述掉落抑制构件具有以给定的宽度延伸的形状，收容于所述收容部时的所述被成膜物与所述掉落抑制构件之间的距离为所述掉落抑制构件的所述宽度以上，当在所述被成膜物被收容于所述收容部时在所述被成膜物与所述掩模部对置的方向上观察时，在从所述掩模部朝向构成所述收容部的内壁延伸的所述掉落抑制构件与所述内壁之间存在间隙，所述间隙的尺寸为所述收容部的深度的12以下。
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百度查询： 株式会社村田制作所 成膜用掩模夹具以及成膜装置
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