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申请/专利权人：浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
申请日：2024-10-30
公开（公告）日：2024-11-29
公开（公告）号：CN119042381A
专利技术分类：
专利摘要：一种可更换套筒的进气阀，包括阀体，阀体包括上端为进气口、下端为出气口并形成上下数值贯通的主通道和从阀体侧壁穿入主通道的侧进气道，侧进气道与主通道之间交汇处形成侧进气孔，主通道内设置有上下贯通的套筒，套筒从出气孔穿入并贴合设置在主通道内壁上，套筒侧壁开有与侧进气孔匹配的侧孔。本发明通过安装套筒并通过更换套筒来防止主通道内壁的结晶过厚从而影响对半导体的加工，同时设置在套筒内部的活塞刮刀能够进行旋转，从而进一步提高装置对结晶的清除能力。
专利权项：1.一种用于加工晶圆的可更换套筒进气阀，包括阀体（1），阀体（1）包括上端为进气口（2）、下端为出气口（3）并形成上下竖直贯通的主通道（4）和从阀体（1）侧壁穿入主通道（4）的侧进气道（5），侧进气道（5）与主通道（4）之间交汇处形成侧进气孔（6），其特征是：所述主通道（4）内设置有上下贯通的套筒（7），套筒（7）从出气口（3）穿入并贴合设置在主通道（4）内壁上，套筒（7）侧壁开有与侧进气孔（6）匹配的侧孔（8）。
百度查询： 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司 一种用于加工晶圆的可更换套筒进气阀
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