申请/专利权人：北海惠科光电技术有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司

申请日：2019-06-27

公开（公告）日：2019-11-12

公开（公告）号：CN110441501A

主分类号：G01N33/38(20060101)

分类号：G01N33/38(20060101);G01N21/95(20060101);G01N21/01(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.21#授权;2019.12.06#实质审查的生效;2019.11.12#公开

摘要：本申请公开了一种检测方法和检测系统，所述检测方法包括步骤：接收前制程机台制造传输来的基板以执行检测；采集基板的状态信息；根据预设规则来检测采集到的基板的状态信息；判断基板的检测结果是否符合预设标准，符合，则基板被判定为合格基板；否则，基板被判定为不合格基板，自动停机对应的前制程机台。本申请当检测到基板不合格后，会自动控制前制程机台停机，避免人工的一些意外事物所耽误的时间，提高停机动作的执行速率，从而提高了基板的生产效率。

主权项：1.一种检测方法，其特征在于，包括步骤：接收前制程机台制造传输来的基板以执行检测；采集基板的状态信息；根据预设规则来检测采集到的基板的状态信息；以及判断基板的检测结果是否符合预设标准，符合，则基板被判定为合格基板；否则，基板被判定为不合格基板，自动停机对应的前制程机台。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北海惠科光电技术有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司 一种检测方法和检测系统

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