申请/专利权人:拉普拉斯(西安)科技有限责任公司
申请日:2023-09-28
公开(公告)日:2024-04-23
公开(公告)号:CN220827452U
主分类号:C23C14/50
分类号:C23C14/50
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.23#授权
摘要:本实用新型属于硅片加工技术领域,公开了支撑装置及镀膜设备。该支撑装置包括第一安装件、第二安装件和支撑件,第二安装件设置于第一安装件上方,支撑件转动设置于第二安装件远离第一安装件的一端,用于支撑载板。在载板移动的过程中,支撑件能够对载板提供支撑,避免载板出现弯曲变形,进而确保载板上硅片的安全,有效避免硅片出现碎片,进而提升硅片的成品率。
主权项:1.支撑装置,用于支撑载板2,其特征在于,所述支撑装置1包括:第一安装件10,包括相对设置的第一表面11和第二表面12,所述第一表面11面向所述载板2;第二安装件20,设于所述第一表面11;支撑件30,可转动安装在所述第二安装件20远离所述第一安装件10的一端,所述支撑件30用于支撑所述载板2。
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权利要求:
百度查询: 拉普拉斯(西安)科技有限责任公司 支撑装置及镀膜设备
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