申请/专利权人：拉普拉斯(西安)科技有限责任公司

申请日：2023-09-28

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN220827452U

主分类号：C23C14/50

分类号：C23C14/50

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权

摘要：本实用新型属于硅片加工技术领域，公开了支撑装置及镀膜设备。该支撑装置包括第一安装件、第二安装件和支撑件，第二安装件设置于第一安装件上方，支撑件转动设置于第二安装件远离第一安装件的一端，用于支撑载板。在载板移动的过程中，支撑件能够对载板提供支撑，避免载板出现弯曲变形，进而确保载板上硅片的安全，有效避免硅片出现碎片，进而提升硅片的成品率。

主权项：1.支撑装置，用于支撑载板2，其特征在于，所述支撑装置1包括：第一安装件10，包括相对设置的第一表面11和第二表面12，所述第一表面11面向所述载板2；第二安装件20，设于所述第一表面11；支撑件30，可转动安装在所述第二安装件20远离所述第一安装件10的一端，所述支撑件30用于支撑所述载板2。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 拉普拉斯(西安)科技有限责任公司 支撑装置及镀膜设备

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