申请/专利权人：拉普拉斯(西安)科技有限责任公司

申请日：2023-09-28

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN220829927U

主分类号：H01J37/32

分类号：H01J37/32;C23C14/56;C23C16/54;H01L31/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权

摘要：本实用新型属于太阳能电池制造技术领域，公开了一种镀膜设备，镀膜设备用于对待镀工件镀膜处理，待镀工件包括沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面，镀膜设备包括载板以及依顺序设置的第一镀膜腔组和第二镀膜腔组；第一镀膜腔组内设有第一镀膜源；第二镀膜腔组内设有第二镀膜源；待镀工件保持于载板且待镀工件露出第一表面和第二表面；载板流转设于第一镀膜腔组和第二镀膜腔组；第一镀膜源用于对第一表面和第二表面进行镀膜，形成第一膜层；第二镀膜源用于对第一表面和第二表面进行镀膜，形成第二膜层，第二膜层形成于第一膜层的表面。该镀膜设备可实现双面镀膜，提高镀膜效率，无需基片在镀膜过程中多次进出镀膜腔室，提高了镀膜质量。

主权项：1.镀膜设备，用于对待镀工件100镀膜处理，所述待镀工件100包括沿其厚度方向相对设置的第一表面101和第二表面102，其特征在于，所述镀膜设备包括载板10以及依顺序设置的第一镀膜腔组20和第二镀膜腔组30；所述第一镀膜腔组20内设有第一镀膜源210；所述第二镀膜腔组30内设有第二镀膜源310；其中，所述待镀工件100保持于所述载板10且所述待镀工件100露出所述第一表面101和所述第二表面102；所述载板10流转设于所述第一镀膜腔组20和所述第二镀膜腔组30；所述第一镀膜源210用于对所述第一表面101和所述第二表面102进行镀膜，形成第一膜层103；所述第二镀膜源310用于对所述第一表面101和所述第二表面102进行镀膜，形成第二膜层104，所述第二膜层104形成于所述第一膜层103的表面。

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权利要求：

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